“沒想到，新設備第一次光刻測試就成功了，薑教授他們這些人真是牛。”
“那是當然，光刻機研發實驗室是咱們維創電子公司和zk院半導體研究所、深鎮大學，共同合作建立的，裡麵工作的研究員，學曆最低的也是碩士研究生，能不厲害嗎。”
“芯片生產線最核心的設備光刻機研發成功了，其他相關設備的研發難度就低多了，也許咱們維創電子公司有一天，可以生產整條芯片生產線上的所有設備。”
“沒那麼容易，整條芯片生產線上的設備太多了，咱們維創電子不可能分心生產這麼多的東西。”
“第一次光刻測試，產品合格率就達到了687，再做一些參數優化，將合格率提升到70、80，也不是不可能。
接下來，劉焱和薑安平等人去食堂吃了一餐遲來的午飯，然後返回無塵車間，對光刻機進行進一步的測試，包括極限加工精度測試，最高光刻速度測試，長時間壓力測試等等。
此後半個月，又有兩台維創電子自產的一微米光刻機加入測試，隨著設備參數的不斷修改優化，一些零配件的小修小改，生產的芯片合格率已經提升到了81。作為一家剛剛成立不到半年的晶圓工廠，這個合格率已經相當高了。
11月中旬，維創電子公司和zk院、深鎮大學，合作研發的一微米光刻機正式定型量產。
為此，三家單位特意舉行了一個表彰大會，還叫來了幾名報刊雜誌和電視台的記者，對此進行報道。在這次的表彰大會上，對光刻機研發小組全體成員進行了通報嘉獎，所有人都獲得了維創電子公司的一萬到十萬不等的獎金。
在改開之初的八三年，rb非常的堅挺，萬元戶在深鎮也是鳳毛麟角的存在。如今一大批搞光刻機研發的技術人員，輕輕鬆鬆成為萬元戶，甚至十萬元戶，造成的轟動效果可想而知。
消息見報不到一周，維創電子公司就接到了五台一微米光刻機訂單，都是國內的幾大電子研究所訂購的，用於國產芯片的研發製造。
劉焱當初投資研發光刻機，本來就沒想過依靠它盈利，量產型號的光刻機，對外售價隻有2百萬rb。這個價格隻有國外同類產品的三分之一左右，可謂是物美價廉。
可惜這年月，國內的晶圓工廠大多不成氣候，後續訂單就算有，也不會有太多。好在維創電子公司自己就有晶圓工廠，且盈利豐厚，隻要自產光刻機能完美替代進口產品，且能跟隨摩爾定律不斷升級進化，花再多的研發資金也是值得。
表彰大會之後，劉焱召集全體光刻機研發室實驗室成員，召開了一個研討會，對下一步的研發計劃和研發方向進行了部署。
劉焱代表維創電子公司率先發言，說道
“一微米光刻機已經研發成功，並定型量產，在座的諸位功不可沒。但這一切都已經是過去式，接下來，咱們要在一微米光刻機的基礎上，再接再厲，研發05微米製程的光刻機。我代表維創電子公司表個態，不管研發過程中遭遇怎樣的困難，需要投入幾億，十幾億，甚至幾十億的研發資金，我們維創電子也在所不惜。接下來，有請薑教授就下一代光刻機研發計劃，做一下總體規劃。”
薑安平拿出一份手寫的稿子，清了清嗓子說道
“當初劉老板的光刻機研發資料中，有一份05微米光刻機研發概要，點明了幾個研發要點，包括光源，透鏡係統，雙工台，掩模台等等。
其中雙工台、掩膜台、控製係統、晶圓傳輸係統，可以通過一微米光刻機的相關部件進行升級改造達成，難度不是太大。
但為了達到05微米的加工精度，光源係統和透鏡係統需要重新設計，重新打造，這個難度不是一般的大。”
烏光輝跟著發言道
“我是搞激光技術出身，在光刻機光源方麵有一定研究。光刻分辨率想要達到05微米，光源波長需要達到365n以下，且對光源強度和均勻度都有非常嚴格的要求。咱們在一微米光刻機上使用的高壓汞燈，理論上其極限能達035微米的加工精度，但需要對其結構進行徹底的改造，且越是接近極限，越難以達成。
而被業界普遍認定是下一代光刻機光源的krf（氟化氪）準分子激光，光源波長為248n，可以使最小工藝節點提升至350180n水平。當今世界上，很多激光相關的研究所，都在對準分子激光進行研發，進度參差不齊，達到實用水平的，一個都沒有。
我的建議是，在光刻機光源方麵，兩種線路同時研發，哪個率先取得突破，下一代05微米光刻機上，就使用哪一種光源。”
一位光學方麵的專家發言道
“光源波長越短，傳播過程中越容易被透鏡吸收。下一代05微米光刻機，如果依舊使用高壓汞燈當光源，使用現在的透鏡組合就足夠了，頂多加工精度再提高一些。如果使用準分子激光做光源，透鏡係統就需要推倒重做，組合裡至少增加兩枚玻璃透鏡，參數也要重新設計，還有鍍膜材質也要重新開發。這方麵研究需要儘快提上日程，如果開發新透鏡組合，需要的計算量非常的大，使用普通計算機計算，需要的時間會非常長，我建議咱們使用ar1芯片，組裝一台超級計算機出來。”
一位深鎮大學教計算機的教授，推了推眼鏡出聲道
“超級計算機確實是個好東西，咱們很多研發中的項目涉及到大量數據計算和模擬測試，如果咱們實驗室有一台超級計算機，可以把研發速度提高很多。
維創電子公司晶圓工廠出產的ar1芯片，是世界上第一款精簡指令集芯片，以10萬晶體管數量，了遠超芯片的性能，在功耗上，也隻有後者的三分之一左右，是製作超級計算機的最優芯片。
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