小學弟，科研回來我宣你！！
陸隱交代完注意事項和要求曾泉幾人必須時刻記錄下數據後，穿上無塵防護服，進入了實驗室。
再多的擔心也無用，隻有實驗才能見真章。
這台光刻機的雛形是所有實驗的第一步，隻有通過這次的試驗，才能知道不足在哪兒。
趙光譽運來的材料很多，他絲毫不擔心失敗後無材料可用。
大廳中，趙光譽等人坐在休息區沙發上，透過大屏幕看著陸隱進入實驗室後，一顆心瞬間提了起來，緊張得手心都出了汗。
在場十幾人，愣是無一人敢說話，甚至連呼吸聲都不自覺放低，生怕打擾到實驗室內的人。
光刻機實驗室內。
陸隱站在一台巨大的機器麵前，心中默默回想起組裝光刻機的過程和細節。
光刻機主要用來製造芯片，原理其實很簡單，即曝光顯影，光刻機中有個光源發光，把掩膜板上的集成電路圖形通過鏡頭組，投射到塗有光刻膠的矽片上，讓膠體感光硬化，版圖成型。
也因此，光刻機最核心的部分也主要分為鏡頭，光源和工件台。
其中，成像鏡頭的作用是矯正投影時的光學像差，芯片製程越小，成像精度越高，鏡片組成也越複雜，一台光刻機的鏡頭組，就包含25枚巨大的鏡片，這些鏡片以蔡司鏡片最優，用惰性氣體密封在金屬鏡筒中。
而鏡筒裡，那些比鍋蓋還大的蔡司鏡片造價極高，占整台機器成本的一半，這也是陸隱昨天向趙光譽申請的特殊材料之一。
其次是與鏡頭搭配的duv光源，是氟化氬準分子激光器，這一點得益於陸隱之前一直研究激光發射器，研究起來並不難，也算是占了先天優勢。
氟化氬準分子激光器利用高能電子束激發氣體準分子，通過能級躍遷產生波長193納米的深紫外光。
工件台則是一個帶矽片飛的平台，其中的“飛”並沒有太多含義，也是字麵上的飛。
工件台本身就是一個動圈式的磁懸浮裝置，下麵的底板是磁鐵排成的哈爾巴赫陣列，用來加強頂部的磁場。
光刻機正式開始工作時，平台線圈通上強電幾十多公斤重的工件台會懸浮起來，帶著矽片做沒有摩擦的高速移動，矽片平台移動的速度越快，效率也越高，飛速完成每一次對準矯正，和掃描曝光。
為了得到更高的效率，陸隱準備了兩台同時運轉的工件台，一台做曝光掃描，一台做對準矯正。
但光是準備這些還不夠，一套完整的光刻流程還包括曝光前矽片塗膠和烘焙，以及曝光後的顯影衝洗，所以陸隱還準備了塗膠顯影的軌道機和光刻機聯機作業。
除此之外，還需要一台光學檢測設備，通過照射矽片表麵，收集反射光和衍射光，來分析套刻誤差。
以及一台用來做尺寸測量和缺陷檢測機器，外國現在用來測量的機器大多都是e5和escan600這兩種，其他原理是用電子束掃描成像進行量測檢測，但陸隱認為這兩種機器效率都不高，直接采用了escan1100，用多重電子束取代單電子束，增加掃描麵積，加快檢測速度。
這些量測的數據不光是用來做事後的檢測，還會被收集起來反饋到光刻機上，通過機身係統的算法，來及時調整照明參數，鏡片位置，工件台的調焦調平情況，來改善後續的光刻質量。
可以說，這裡的每一台機器都是相輔相成，缺一不可。
隨著陸隱按下電源鍵，巨大的機器發出一陣嗡鳴。
正式開始試驗了！
大廳中，所有人不約而同站了起來，一顆心完全提到了嗓子眼兒，手心也完全被汗水浸濕，心中既緊張又期待。
趙光譽更是緊張得快要將手中的茶杯捏碎。
這是光刻機第一次試驗，時間不會很長，隻要在半小時之內，機器沒有發出警報，就算成功了！
但這短短的半小時，趙光譽卻覺得像是過去了幾年時間，每一分每一秒都十分煎熬。
餘光看到監控設備中的主控製室，趙光譽不禁歎了口氣，看來有人比自己還要緊張。