星城半導體產業園，中微公司總部大樓。
正值淩晨，一場特殊的會議正在二十一樓的會議室召開。會議室的氣氛有些緊張，威廉姆斯團隊和中微的核心研發人員第一次正式碰麵。
李一凡和尹誌堯坐在主席台上，看著下麵涇渭分明的兩個團隊。一邊以威廉姆斯為首的十一人國際團隊，另一邊是中微刻蝕機研發團隊的骨乾成員。
“今天這個會議很重要。”李一凡開門見山，“從今天開始，中微將正式組建光刻機事業部，與現有的刻蝕機事業部一起發展。威廉姆斯博士擔任光刻機事業部總經理，直接向董事會報告。”
“但我要強調的是，兩個事業部並不是割裂的。”他環視全場，“光刻機和刻蝕機雖然是不同的設備，但在核心技術上是有共通之處的。我希望兩個團隊能夠緊密合作，實現技術共享、優勢互補。”
威廉姆斯站起身來，用流利的中文說道“非常感謝中微給我們這個機會。在加入之前，我們就深入研究中微的技術積累。必須承認，你們在精密機械控製、稀疏技術等領域的創新，給了我們很大的啟發。”
他打開筆記本電腦，調出了一份技術方案“這是我們的初步規劃。光刻機的核心在於光學係統、機械係統和控製係統的完美配合。中微在後兩個領域已經有很深的積累，這讓我們在光學係統的創新上多了信心。”
對麵的梁宗傑，中微刻蝕機研發的總工程師皺了皺眉“威廉姆斯博士，我很認可您的觀點。但有一個現實問題我們的精密控製技術是針對刻蝕工藝開發的，用在光刻機上是否需要重新設計？”
“好問題。”威廉姆斯眼睛一亮，“這正是我們要重點合作的地方。刻蝕機和光刻機在納米級精密控製上的需求是相通的。比如梯度的穩定性控製、機械臂的精準定位等，這些技術完全可以共享。”
他調出了另一張圖表“我們的設想是這樣的在現有的精密控製平台基礎上，開發一套更通用的光刻係統架構。這套架構不僅能滿足刻機的需求，還能為光刻機的開發支持。”
楊思涵認真看著圖表，很快點頭“這個思路。不過實現起來難度不小。光刻機對精度的要求比刻蝕機還要高一個數量級。”
“正因如此，我們才選擇了一條全新的技術路線。”威廉姆斯說，“傳統光刻機主要依賴波長的種群來精度提升，從深線到極線。但這條路越走越難，成本也越來越高。”
“我們的光學方案是，通過創新的係統設計和靜態曝光技術，在保持現有光源的基礎上實現更大的優勢。這樣不僅能降低技術開銷，還能大幅降低成本。”
聽到這裡，楊思涵眼前一亮。“這與中微在刻蝕機領域的創新思路不謀而合。當年他們也通過新型改進技術，注意到了美國傳統刻蝕機的技術路線，最終實現了突破。”
“這個創新思路很有價值。”李一凡開口道，“不過我們現在最關心的是時間表。威廉姆斯博士，按照您的規劃，從立項到出樣機需要多長時間？”
威廉姆斯在大屏幕上調出一份甘特圖“根據我們的評估，整個項目分三個階段。第一階段是基礎研發，為期一年，主要是光學係統的原理驗證和關鍵部件的商標。”
“第二階段是工程樣機，計劃用兩年時間完成28n光刻機的質量。這個階段最關鍵的是光學係統和精密控製係統的整合。”
“第三階段是產品化和工藝提升，目標是在五年內實現14n光刻機的量產。同時，我們會同步開展更先進工藝的研發。”
楊思涵若有所思“這個規劃很緊湊。不過第一年的基礎研發恐怕還不夠。光學係統涉及的技術積累太多，從零開始需要大量的實驗驗證。”
“你說得對。”威廉姆斯點頭，“所以我們準備采用成品開發策略。光學係統串聯三個子係統同時研發光源係統、光學推理係統和瞄準係統。每個子係統都由一個專門的團隊負責。”
他轉向周邊的團隊成員“約翰負責光源係統，他在euv光源領域有十五年經驗。馬克主攻光學推理係統，負責asl之前最新一代光刻機的光路設計。詹姆斯方向傾斜係統，是精密控製領域的專家。”
“那控製係統聚合怎麼配合？”楊思涵問道。
“這就是我想和你們討論的。”威廉姆斯詳細說道，“中微在精密控製領域的積累非常寶貴。我們希望能夠總結你們在刻蝕機上的經驗，特彆是納米級定位技術和實時反饋係統。”
誌堯一直在認真記錄，尹開口道“人員配置需要詳細規劃一下。光刻機項目預計需要多少研發人員？”
“年輕人需要101novel.com0人左右的核心團隊。”威廉姆斯說，“其中光學組50人，機械組70人，控製組50人，工藝組30人。但隨著項目推進，團隊規模會逐步擴大到500人以上。”
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“人才從哪裡來？”尹誌堯問了成長的關鍵問題。
“我們已經做了初步規劃。”李一凡接過話題，“首先是全球招聘。除了威廉姆斯團隊，我們還在接觸其他國際光學專家。其次是國內高校合作，我已經和清華、浙大等學校談好了聯合培養計劃。”
“第三，也是最重要的，就是內部培養。”他向楊思涵看去，“我希望刻蝕機團隊能夠選一批融合骨乾，參與光刻機項目的研發。這樣加快技術，也能更多地培養全能型人才。”
楊思涵點頭表示明白“這沒問題。不過現有項目也不能耽誤。我建議采取輪崗製，讓骨乾工程師在兩個項目之間輪換。”
“好主意。”威廉姆姆斯總結道，“這種模式在asl就很成功。通過輪崗，不僅能在技術上促進交流，還能培養人才的綜合視野。”
會議進行到這裡，兩個團隊的隔閡明顯消除了許多招募。李一凡看了看時間，做最後總結“今天的交流成果成果。下麵我宣布幾個決定第一，立即啟動光刻事業部的籌建工作，一周內完成人員計劃。”
“第二，成立技術整合工作組，由楊思涵和威廉姆斯博士共同領導，負責兩個事業部的技術對接。”
“第三，加快新研發大樓的建設進度。我已經讓星城高新區撥撥了50畝土地，專門用於光刻機研發中心的建設。”
散會前，威廉姆斯說道“還有一件事需要提醒。一旦美國方麵發現我們在研發光刻機，必然會從法律層麵施壓。我們要提前做好準備。”
“這一點請大家放心。”李一凡說，“法務部已經準備好了完整的應對預案。而且，我們的技術路線是完全自主創新，不存在專利針對性問題。”
走出會議室時，尹誌堯感慨道“原來雙方能這麼快找到共同語言。”
“這說明我們選對了人。”李一凡微笑道，“威廉姆斯團隊並不是簡單的技術轉移，而是真正想在中國實現他們的技術理想。這種創新精神，正是中微最需要的。”
此時的星城，陽光正好。遠處的工地上，光刻機研發中心的基建工程已經開始破土動工。一個改變中國半導體產業格局的宏大計劃，正在這裡悄然展開。
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