第五十二章 追光行動(2)_重燃2003_思兔 
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第五十二章 追光行動(2)(2 / 2)

而後,他們的目光不約而同地轉向了台前的少年,等待著他的下一步發言。

在這群人中,大王先生資曆最老,江湖地位也最高。

84歲的他首先開口,聲音中透露出一絲亢奮,

“小卿,有話直說,要怎麼安排,怎麼進行,你直接吩咐就是了。”

大王先生的這句話,相當於代表在場的所有人進行了表態。

卿雲心中感激,他對著所有大佬鞠了一躬,然後看向了那位主持了前兩代光刻機研發的徐端頤。

“徐老,”卿雲的目光中帶著一絲期待,“您是浸淫此道多年的老前輩,我想請問您,有沒有把握根據資料對浸潤式光刻機進行研發?”

徐端頤沒有急著回答,他閉目思索了良久,會議室裡的氣氛也隨著他的沉默而變得緊張起來。

雖然他們都是搞這行的,但半導體是個龐大的係統工程,術業有專攻,要說起光刻機的研發,還得看這位老爺子。

終於,徐端頤緩緩睜開了眼睛,他的聲音中帶著一絲沙啞“有把握,但是……這不解決根本問題。”

此言一出,會議室裡的氣氛頓時凝重起來。在座的每一位都是半導體領域的專家,他們當然明白徐端頤所說的‘根本問題’指的是什麼。

表情怪異的黃令儀緊隨其後的開了口,“小卿,這份資料非常的重要,對我們國家來說,完全可以說是無價之寶。

但是……”

徐端頤接過她的話頭繼續說著,“小卿,一台光刻機,我們進行拆分,大致分為光源係統、照明係統、投影物鏡係統、雙工件台係統、以及光罩與晶圓傳輸係統、調平調焦係統、對準係統七個子係統。

光刻機性能的三大評價指標是分辨率、套刻精度、和產率,這是一整套極嚴苛的環境控製、整機控製以及整機軟件分析係統。

可以說光刻機的每一個子係統都在挑戰人類工程的極限。”

他惋惜的歎了口氣,“我的意思是,隻有這套圖紙,是不夠的。我們差的……不是一點半點,甚至很多領域,我們的現狀是近乎為零。

坦率的說,給我圖紙,給我一年半載,我能造出來,但沒法用,你明白嗎?”

卿雲聞言並沒有什麼氣餒的神色。

很正常,畢竟這群老頭老太太們,不是和他一樣都是重生的。

他們一直在爭氣,卻沒那個解氣的經曆。

徐端頤望著他,神色複雜的說著,“小卿,追光……光喊口號是沒用的。技術、工藝受限,單單突破一點,是沒用的。”

雲帝聞言,眼神毫不躲閃的,淡淡的說著,“老爺子,我明白的。我雖然年輕,但也沒那麼天真。”

這個過程,他太清楚了。

華國的第四代光刻機,最初便是如此。

07年我們便達到了90n,隻是光學係統拉胯,彆人見你做出來了,直接不賣配件讓我們沒法量產,直到十年後在國內各參與方通力合作才解決。

雖然那是乾式光刻機,對光學係統進口依賴嚴重,但當前的現狀就是就算走浸沒式,同樣也會被彆人封鎖。

因為正如徐端頤所言,很多領域就是一片空白,隻能依賴進口。

不過……

雲帝此時卻笑了笑,“老爺子,這就是我們今天坐在這裡來商討的意義所在。

我們今天討論的綱領,就是從源頭來解決這一切的。”

說罷,他又打開了投影儀。

此時的幕布上麵,光刻機器七大子係統赫然出現在ppt中,甚至每個子係統又拆分成不同的細分係統。

上麵的綠色標明了哪些部件是可以國產的,而黃色部分則是哪些部件是現有技術下可以解決的,如光源,以前沒有,是國內沒人造光刻機,現在有人要造要用,自然是可以解決的。

畢竟,論到玩激光,華國才是祖宗。

甚至,單從光源來說,成創天院士的研發的kbbf晶體可以反向卡歐美的脖子,沒有這玩意兒,根本就沒有euv光刻機。

而這個晶體,成創天院士以一己之力硬生生的卡了歐美15年的脖子。

眾大佬也知道這種情況。

一張碩大的圖片,讓眾大佬很是無語。

“你小子真的是為難我們這些老頭子哦!”

即使是在投影幕布上,那密密麻麻的,字跟螞蟻大小也差不多,讓他們叫苦不迭,紛紛想要起身去前麵拿著放大鏡仔細看著。

蕭雅適時的將各係統詳細分解圖在會議室裡散發著。

上麵的字體鬥大鬥大的,倒是讓老頭老太太們舒服了不少。

而年紀最大的王守武等人,旁邊也專門有國安的人員坐在一邊替他們念著。

又是十來分鐘過去,一眾大佬紛紛放下了手裡的資料以及……手裡的放大鏡。

不過望著上麵幾乎比例可以達到70的白色區域,都是搖頭苦笑著。

差的太多。

……

本章完

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