第455章 浸潤式光刻機技術_重生76:工業互聯網帝國_思兔 
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第455章 浸潤式光刻機技術(1 / 1)

一直沉默不語的林本堅突然說道“楊總,光刻機的光源一直停滯在193納米的波長,各大光刻機公司絞儘腦汁,也無法將波長縮短到157納米,所以我想嘗試遊說光刻機廠家,另辟蹊徑,轉換設計理念,把傳統的空氣為介質的乾式微影技術,改為浸潤式光刻工藝……”

楊墨心頭一動,幾乎脫口而出道“浸潤式光刻工藝?”

林本堅連忙解釋道“楊總,浸入式光刻方案並非心血來潮,我在ib工作期間,就著手研究過浸潤式光刻工藝,我認為以目前的技術條件下,縮短波長的最佳方案就是由乾式微影技術轉向浸潤式!”

“你這個浸潤式光刻方案有沒有理論支撐?”楊墨不動聲色的問道。

林本堅信心十足的點點頭說道“有!把透鏡和矽片之間的介質從空氣換成水,由於水的折射率大約為14,那麼波長可縮短為193納米除以14,就可以一下子把波長縮短到132n,大大超過一直攻克不了的157n!”

“國際知名學術期刊有沒有過這方麵的論文?”楊墨繼續問道。

“我自己發表過三篇這方麵論文,不過收效甚微,沒有得到光刻機廠家的重視!”林本堅有些沮喪的說道。

“那這個方案還跟其它光刻機公司提過嗎?”楊墨嗬嗬笑道。

“楊總,不瞞您說,在來荷蘭之前,我和尼康、東芝方麵,就浸潤式光刻方案溝通過,想讓他們為世大半導體定做一台浸潤式光刻機,不過對方興趣不大……”林本堅苦笑道。

楊墨沉吟片刻之後,跟保鏢說道“小李,先靠邊停車,我們休息會……”

“楊總,您是不是也覺得這事不靠譜?阿斯麥不會為我們定製浸潤式光刻機?”林本堅神色瞬間黯淡下來。

楊墨微笑著說道“林處長!您放心,隻要您對浸潤式光刻工藝有信心,即便阿斯麥不願意為世大半導體定製,我也願意為你們專門收購一家光刻機公司,來驗證你們的想法!”

楊墨的話,讓已近花甲之年的林本堅無比動容,有些感動的說道“楊總,生產一台浸潤式光刻機,不僅是收購一家光刻機公司,後續還要投入數以千萬美元的研發費用,萬一這條路走不通,會損失慘重!”

楊墨哈哈大笑道“致遠集團成立至今為止,研發失敗的項目不計其數,但致遠無論資金鏈怎麼緊張,都沒有延遲支付過一分錢的研發經費……”

楊墨這番話,讓張汝京、蔣尚義、林本堅等人聽的熱血沸騰!

楊墨沉吟片刻之後突然說道“林處長,把您這個浸潤式光刻工藝,以世大半導體的名義申請專利,不管最終這個浸潤式光刻工藝能不能研發成功,世大半導體都給你一筆豐厚的獎勵,怎麼樣?”

“注冊專利?還有豐厚的獎勵?”林本堅有些不相信自己的耳朵,不由得看了張汝京一眼。

張汝京嗬嗬笑道“林處長,楊總的話就代表公司的態度!”

就是一個簡單的設計思路,白送給尼康人家都不感興趣,林本堅馬上點頭答應了楊墨的提議。

“改變計劃,不去費爾德霍芬了,去矽穀總部!”楊墨說道。

“去矽穀總部?總部就是個空架子……”張汝京不解的問道。

“你讓世大半導體的法務和財務到矽穀總部跟我們彙合,準備從資本市場融資!”楊墨繼續說道。

“融資?我們目前沒有擴大產能的計劃啊?”張汝京更加不解的說道。

“全資收購阿斯麥光刻機公司!”楊墨不由分說的說道。

張汝京苦笑道“哪家公司資本公司會支持這個瘋狂的想法?”

“融資的事不用你們擔心,我會安排!浸潤式光刻機方案暫時不要跟任何人提起,申請專利的時候,不用省錢,多設置一些專利陷阱,儘可能把所有的路都堵上……”楊墨囑咐道。

楊墨有些模糊的記憶漸漸清晰起來,他想起來阿斯麥的浸潤式光刻機技術,好像還真的是台積電一個技術人員最早提出來的……

楊墨不確定這個人到底是不是林本堅,但從他對浸潤式光刻技術的理解,應該八九不離十。

這麼看來,阿斯麥顛覆尼康、佳能霸主地位的新一代浸潤式光刻機,大概率就是在台積電技術人員的啟發下完成的!

“楊總,光刻機涉及光學設計、材料科技、電子控製係統、精密製造等多個高精尖領域,製造難度之大,超乎常人想象,製造過程中,需要高度精確的工藝控製和複雜的供應鏈管理,每個環節的精密度和複雜度超乎想象,我們到目前為止,隻有一個沒有經過驗證的方案,僅憑我們自己的技術力量,恐怕很難完成!”一直沉默不語的蔣尚義突然說道。

“那依你之見呢?”楊墨饒有興趣的問道。

“我個人覺得我們還是應該把突破方向,放在芯片製造方麵,隻要我們一直站在晶圓製造工藝的最前沿,在整個產業鏈當中,就有足夠的話語權,即便是英特爾這樣的芯片頭部企業,想要造出最先進的芯片,也繞不開世大半導體!”蔣尚義略一沉吟之後說道。

楊墨嗬嗬笑道“蔣總,你說的不錯,不管處在產業鏈的哪一端,隻要不可替代,就有足夠的話語權,可是你能保證世大半導體不可替代嗎?”

蔣尚義苦笑道“這一點誰也不能保證……”

楊墨皺眉說道“光刻機技術的更迭速度,決定了集成電路的發展!就像現在這樣,整個光刻機行業,全都走進了死胡同,而157納米製程工藝也像一座大山一般,橫亙在我們麵前,你甚至根本看不到突破的希望,要不了一年半載,原本比你們工藝製程落後的晶圓廠,技術跟上來之後,芯片製造領域將會掀起慘烈的價格戰……”

“摩爾定律決定了光刻技術不可能一直停滯不前,總會有新的解決方案出來!”蔣尚義繼續說道。

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