陽威力通過對講機溝通，讓一位名為柏巧玲的女工，送來了幾十片已經塗好光刻膠的矽晶圓，廉安平教授親自動手，將矽晶圓安置到光刻機晶圓入口處的支架上，然後按下操作麵板上的啟動按鈕。光刻機內部傳出細微的機械轉動聲音，一張矽晶圓被機械臂送進光刻機內部，在深色玻璃觀察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，開始對矽晶圓進行加工。
見狀，劉焱出聲詢問道
“這台光刻機使用的是哪種光源，是高壓汞燈產生的436nle和365nile，還是248n的krf（氟化氪）準分子激光作為光源？”
烏光輝回答道
“現在使用的是高壓汞燈產生的365nile作為光刻光源，理論上，這種光源能一直將光刻機的加工精度提升到035微米，作為未來一兩代光刻機的光源足夠使用了。準分子激光光源，是下一代光刻機光源技術，咱們研發部已經立項開始研發，但這種技術在世界範圍內，也是最前沿研發項目，開發難度非常高，不是短期內能攻克的。”
這台光刻機的加工速度還是很快的，即使是初次測試，柏巧玲拿來的幾十片矽晶圓也在二分鐘內，全部完成了光刻加工。這些光滑如鏡的矽晶圓上，多了很多方塊狀的紋路。測試用的掩膜版，是晶圓工廠正在生產的ar1芯片掩膜版，其複雜程度和尺寸大小，是晶圓工廠出產的所有芯片之最。
按照原本的計劃，第一次光刻測試，應該選用最為簡單的單片機芯片作為加工目標，這樣一來，就可以從易到難，逐步查漏補缺，將光刻機修改完善。但廉安平教授和幾個主要研發人員，對光刻機測試樣機非常有信心，直接上了最大難度，也是需求量最大的ar1芯片。
維創電子公司推出的第二代遊戲掌機上市之後，立刻受到電玩愛好者的熱捧，僅僅上市半個多月，就售出了300萬台。
隨機配送的《c級瑪麗》和《g夫小子》兩款遊戲，在畫麵、音效、遊戲可玩性上，碾壓市麵上的所有遊戲。
遊戲掌機熱銷，作為主控芯片的ar1需求量大增，可是產品合格率始終徘徊在60~70之間，提升速度非常緩慢。
經過蒙小剛、廉安平教授以及幾個相關領域的專家研究分析，認為ar1合格率過低的原因恰恰是光刻機精準度不達標造成的。
晶圓工廠內的這幾條芯片生產線畢竟是使用了一二十年的設備，能正常生產芯片就不錯了，想要苛求加工參數完全達標，幾乎不可能。其中影響最大的，就是作為核心設備的光刻機。
廉安平教授親自動手，使用專用夾具，將光刻完的幾十片矽晶圓裝進專用容器，拿去芯片生產線那邊，去進行後續的刻蝕、離子注入、薄膜沉積、化學機械研磨等步驟。
兩個多小時之後，所有工序走完，幾十片矽晶圓，變成了一千多枚封裝完成的ar1芯片。
劉焱、烏光輝、廉安平教授等高管和研發人員，開始動手對這批芯片進行全麵測試。
半小時後，所有芯片測試完成，廉安平教授對測試結果進行了彙總，最後宣布道
“此次一微米光刻機測試，共選用了35片矽晶圓，加工過後，切割封裝成1750枚芯片。
經全麵測試，合格產品共1101novel.com3枚，合格率為687。也就是說，咱們光刻機研發實驗室生產的第一台一微米光刻機，第一次開機測試生產，就成功了，且合格率已經達到了晶圓工廠內現有幾台佳能和尼康光刻機的加工水平。”
聽完廉安平教授的發言，劉焱帶頭鼓掌，其他維創電子公司高管和研發人員，以及其他負責封裝測試的員工也很快跟上，現場爆發出一陣熱烈的掌聲。
“沒想到，新設備第一次光刻測試就成功了，廉教授他們這些人真是牛。”
“那是當然，光刻機研發實驗室是咱們維創電子公司和z科院半導體研究所、深鎮大學，共同合作建立的，裡麵工作的研究員，學曆最低的也是碩士研究生，能不厲害嗎。”
“芯片生產線最核心的設備光刻機研發成功了，其他相關設備的研發難度就低多了，也許咱們維創電子公司有一天，可以生產整條芯片生產線上的所有設備。”
“沒那麼容易，整條芯片生產線上的設備太多了，咱們維創電子不可能分心生產這麼多的東西。”
“第一次光刻測試，產品合格率就達到了687，再做一些參數優化，將合格率提升到70、80，也不是不可能。”
接下來，劉焱和廉安平教授等人去食堂吃了一餐遲來的午飯，然後返回無塵車間，對光刻機進行進一步的測試，包括極限加工精度測試，最高光刻速度測試，長時間壓力測試等等。
此後半個月，又有兩台維創電子公司自產的一微米光刻機加入測試，隨著設備參數的不斷修改優化，一些零配件的小修小改，生產的芯片合格率已經提升到了81。作為一家剛剛成立不到半年的晶圓工廠，這個合格率已經相當高了。
11月中旬，維創電子公司和z科院、深鎮大學，合作研發的一微米光刻機正式定型量產。
為此，三家單位特意舉行了一個表彰大會，還叫來了幾名報刊雜誌和電視台的記者，對此進行報道。
在這次的表彰大會上，對光刻機研發小組全體成員進行了通報嘉獎，所有人都獲得了維創電子公司的一萬到十萬不等的獎金。
在ggkf之初的八零年，rb可是非常的堅挺，萬元戶即使在特區深鎮也是鳳毛麟角的存在。
如今一大批搞光刻機研發的技術人員，輕輕鬆鬆成為萬元戶，甚至十萬元戶，造成的轟動效果可想而知。
消息見報不到一周，維創電子公司就接到了五台一微米光刻機訂單，都是內地的幾大電子研究所訂購的，用於國產芯片的研發製造。
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