劉焱當初投資研發光刻機，本來就沒想過依靠它盈利，量產型號的光刻機，對外售價隻有百萬人民幣。
這個價格隻有國外同類產品的三分之一左右，可謂是物美價廉。
可惜這年月，內地的晶圓工廠大多不成氣候，後續訂單就算有，也不會有太多。
好在維創電子公司自己就有晶圓工廠，且盈利豐厚，隻要自產光刻機能完美替代進口產品，且能跟隨摩爾定律不斷升級進化，花再多的研發資金也是值得。
表彰大會之後，劉焱召集全體光刻機研發室實驗室成員，召開了一個研討會，對下一步的研發計劃和研發方向進行了部署。
在研討會上，劉焱代表維創電子公司率先發言，說道
“一微米光刻機已經研發成功，並定型量產，在座的諸位功不可沒。
但這一切都已經是過去式，接下來，咱們要在一微米光刻機的基礎上，再接再厲，研發05微米製程的光刻機。
我代表維創電子公司表個態，不管研發過程中遭遇怎樣的困難，需要投入幾億，十幾億，甚至幾十億的研發資金，我們維創電子也在所不惜。
接下來，有請廉教授就下一代光刻機研發計劃，做一下總體規劃。”
廉安平教授拿出一份手寫的稿子，清了清嗓子說道
“當初劉老板的光刻機研發資料中，有一份05微米光刻機研發概要，點明了幾個研發要點，包括光源，透鏡係統，雙工台，掩模台等等。
其中雙工台、掩膜台、控製係統、晶圓傳輸係統，可以通過一微米光刻機的相關部件進行升級改造達成，難度不是太大。
但為了達到05微米的加工精度，光源係統和透鏡係統需要重新設計，重新打造，這個難度不是一般的大。”
烏光輝跟著發言道
“我是搞激光技術出身，在光刻機光源方麵有一定研究。光刻分辨率想要達到05微米，光源波長需要達到365n以下，且對光源強度和均勻度都有非常嚴格的要求。咱們在一微米光刻機上使用的高壓汞燈，理論上其極限能達035微米的加工精度，但需要對其結構進行徹底的改造，且越是接近極限，越難以達成。
而被業界普遍認定是下一代光刻機光源的krf（氟化氪）準分子激光，光源波長為248n，可以使最小工藝節點提升至350180n水平。當今世界上，很多激光相關的研究所，都在對準分子激光進行研發，進度參差不齊，達到實用水平的，一個都沒有。
我的建議是，在光刻機光源方麵，兩種線路同時研發，哪個率先取得突破，下一代05微米光刻機上，就使用哪一種光源。”
一位光學方麵的專家發言道
“光源波長越短，傳播過程中越容易被透鏡吸收。下一代05微米光刻機，如果依舊使用高壓汞燈當光源，使用現在的透鏡組合就足夠了，頂多加工精度再提高一些。
如果使用準分子激光做光源，透鏡係統就需要推倒重做，組合裡至少增加兩枚玻璃透鏡，參數也要重新設計，還有鍍膜材質也要重新開發。
這方麵研究需要儘快提上日程，如果開發新透鏡組合，需要的計算量非常的大，使用普通計算機計算，需要的時間會非常長，我建議咱們使用ar1芯片，組裝一台超級計算機出來。”
一位深鎮大學教計算機的教授，推了推眼鏡出聲道
“超級計算機確實是個好東西，咱們很多研發中的項目涉及到大量數據計算和模擬測試，如果咱們實驗室有一台超級計算機，可以把研發速度提高很多。
維創電子公司晶圓工廠出產的ar1芯片，是世界上第一款精簡指令集芯片，以10萬晶體管數量，了遠超芯片的性能，在功耗上，也隻有後者的三分之一左右，是製作超級計算機的最優芯片。
隻是超算並不是單純的堆疊芯片，還涉及到並行計算、指令分發、數據交互、大量數據存儲、高效率散熱等等技術，咱們這邊根本沒有相關人才，想要自己研發超級計算機難上加難。”
接下來，光刻機研發小組的成員，各抒己見，給下一代05微米光刻機的研發，了很多的好思路。
最後，劉焱做了總結發言，說道
“大家說的很好，05微米光刻機的研發工作就拜托大家了。我們維創電子公司會先期投資10億，作為研發資金，如果需要某些先進設備，或稀有原材料，打報告上來，我會想辦法，從國外采購。
超級計算機的事情先不要著急，據我所知，gfkj大學計算機研究所目前正在進行國內第一台巨型機的研發，咱們可以跟那邊聯係一下，將咱們的ar1芯片過去，看看雙方能不能達成合作。
另外芯片生產線上除了已經被咱們攻克的光刻機，還有刻蝕機，清洗機，離子注入機，單晶爐，晶圓劃片機等等設備，這些都需要咱們去光產化。
這些設備隻靠維創電子公司、深鎮大學、和z科院，三家的科研力量進行研發，還是力有未逮。咱們還需要聯係一些國內相關的科研院所和工廠，進行合作研發。”
會議過後，劉焱通過中科院的關係，聯係上了gfkj大學計算機研究所，了解了一下即將研發完成的“yh1號”巨型計算機。
這才知道八十年代的超算和後世的超算，完全不是一種東西。
就拿“yh1號”來說，它仿製於米國的cray1巨型計算機，使用的計算芯片並不是、ar1這類大規模集成電路芯片，而是數十萬顆普通集成電路芯片。具體構造也不是後世的大規模並行處理結構，而是老舊的向量機。
而且yh1號的計算能力隻有每秒1億次多一點，還不如後世的一枚普通手機芯片，性能著實有限。即使如此，劉焱還是花上千萬港幣，訂購了一台yh1號巨型機，用於輔助光刻機研發。
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