第290章 光刻膠研發取得重大進展_重生歸來:我誓登權力巔峰_思兔 
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第290章 光刻膠研發取得重大進展(1 / 1)

省裡500億半導體創新中心項目正式啟動的第一周,李一凡就召集了一次專門會議。與會的除了市裡各部門負責人,還有中微公司和南大光電的技術團隊。

“這個項目意義重大。”李一凡環視會議室,“省裡把重點放在星城上,是看中了我們在半導體領域的技術積累和產業基礎。現在的關鍵是如何把今晚的資金用在刀刃上。”

陳啟明領導接過話題“根據省裡的規劃,這500億將分三年啟動。第一年101novel.com0億,重點是基礎設施建設和重點項目落地;第二年101novel.com0億,重點技術攻關和產業培育;第三年100億,完善裝備和產業升級。”

“我們市裡的100億配套資金一定要安排。”李一凡說,“要重點支持兩個方向一是南大光電的光刻膠項目,二是中微公司的技術創新。這兩個領域都關係到產業安全。”

正說著,南大光電技術總監王立新遞上一份最新的測試報告“我們在對中微28n光刻機項目的光刻膠研發上取得了重要進展。最新一代產品在分辨率、感光性和穩定性等關鍵指標上都有突破。”

“詳細講述。”李一凡立即產生了興趣。

“主要是三項技術創新。”王立新打開投影,“一是配方優化,提高了光刻膠的感光性能,實現了28n製程要求的精度;二是工藝密封,將在ppb級彆進行緩慢控製,這對良率提升很關鍵;三是添加劑創新,大幅提升了抗乾擾能力。”

“第三點特彆重要。”中微公司董事長尹誌繞表示,“威廉姆斯團隊正在推進28n光刻機的研發,他們特彆關注芯片安全架構。這種新型光刻膠的抗乾擾特性,恰好能夠契合我們在安全防護方麵的設計。”

李一凡點點頭“這就是我們的優勢。光刻機和光刻膠兩個團隊能緊密配合,良好創新。這也是省裡500億投資的重點支持方向。”

“關於光刻膠項目的具體落地。”市發改委主任劉向力說,“南大光電計劃投資50億建設研發中心和生產基地,我們已經在半導體產業園建設了101novel.com0畝核心用地。”

“時間節點要和中微的細節匹配。”李一凡說,“威廉姆斯博士計劃用兩年時間完成28n光刻機的研發和量產,我們的光刻膠必須同步化。”

“完全能夠滿足。”王立新說,“我們的一期工程明年6月建成後,月產能達到3噸。這個規模完全可以滿足中微前期的研發需求。等他們進入量產階段,我們也能及時完成產能拓展。”

“產業配套也要同步規劃。”市招商局局長高製鵬說,“目前已有十幾家上下遊企業表示要跟進。包括前驅體材料、電子特氣、靶材等,都是光刻膠產業必需的配套。初步提示,這些項目總投資將超過100億。”

李一凡在白板上寫下三個關鍵詞“技術好、產業定位、人才支撐。現在重點說說具體的推進計劃。”

“先說技術好。”威廉姆斯博士說,“我們28n光刻機的研發分三個階段第一階段是光學係統突破,這是核心;第二階段是整機集成,需要配合光刻膠進行工藝優化;第三階段是量產驗證,這就需要產業鏈的配合了。”

“工藝配合中微的節奏。”王立新補充道,“光刻膠的研發也分三步首先完成基礎配方,確保28n製造工藝的分辨率要求;然後進行優化,均勻提高成膜性和穩定性;最後是良率提升,這需要大量的數據實踐。”

“這個思路很清晰。”李一凡說,“兩個團隊要緊密配合,互相反饋。得到了省裡500億的支持,我們在技術創新上鼓舞信心,但也要腳踏實地。”

市科技局局長劉青鬆插話道“為了支持和諧創新,我們準備成立一個聯合實驗室。由威廉姆斯博士和王總共同擔任主任,重點攻克關28n製程的關鍵技術。”

“聯合實驗室很有必要。”尹誌繞說,“特彆是在芯片安全方麵,需要從光刻機、光刻膠兩個層麵同步設計。這也是我們獨特的優勢。”

正說完成後,中微公司的技術團隊帶來了最新進展“光學係統的初步設計已經,關鍵指標達到預期。下一步將進入樣機測試階段。我們計劃在明年二季度完成首台工程機的建造。”

這一消息讓會議室的氣氛更加熱烈。工程機是量產前的關鍵一步,如果能按期,將為整個項目打下堅實的基礎。

“人才團隊怎麼配置?”李一凡問道。

“目前兩個團隊加起來有280人。”楊國強說,“其中博士45人,碩士138人。但距離目標還有差距,特彆是娛樂人才方麵。我們正在進行全球範圍內的招聘,計劃年底前把團隊擴充到500人。”

“人才引進的重要性。”李一凡強調,“重點是三類人才一是光學係統專家,二是材料研發工程師,三是工藝集成人才。這些都是產業發展的關鍵。”

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“已經有具體方案了。”市人社局局長楊國強說,“對頂尖人才,最高101novel.com00萬的安家費,加上住房、醫療、教育等配套。目前已有五位國際知名專家表示向加盟。”

“配套也要跟上。”市教育局局長劉清遠彙報,“我們和中南大學合作的微電子學院已經批了,明年開始招生。同時,正在引進一所國際學校,專門解決外籍專家相關的教育問題。”

李一凡滿意地點點頭“整個產業鏈要同步推進。從最上遊的材料,到中遊的設備,再到下遊的製造,形成完整的創新體係。這也是省裡500億投資的意義所在。”

散會後,李一凡獨自在辦公室加班。作為重生者,他深知半導體產業的發展不能急於求成。穩紮穩打,循序漸進,才是正確的道路。

“老公,”林允兒打來電話,“學院開展一個專題報道,介紹星城半導體產業的創新發展。你覺得重點放在哪裡?”

“報道可以,但要把握好尺度。”李一凡說,“重點是產業良性和創新動力,具體的技術細節不用太詳細。我們現在需要的是全力推進,而不是嘩眾取寵。”

夜色中,廣大半導體產業園的建設工地依然火通明。李一凡望著這片熱火朝天的恐慌,心裡已經出現了吵鬨的藍圖先在28n這個節點穩腳跟,然後再謀求更高的突破。這才是一個產業強市的正確打開方式。

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