一個月後，中微與南大光電聯合實驗室正式揭牌。這是星城半導體創新中心成立後的第一個重大項目，李一凡特意參加了揭牌儀式。
“這個實驗室的使命很明確。”李一凡在講話中說，“就是要通過光刻機和光刻膠的良好創新，在28n製程上實現技術突破。這不僅關係到企業的發展，更關係到整個產業鏈的自主可控。”
威廉姆斯博士和王立新作為聯合實驗室的雙主任，詳細介紹了目前的研發進展。
“光學係統已經完成初步設計。”威廉姆斯調出了一組數據，“在分辨率、精度等關鍵指標上都達到了28n製程的基本要求。現在的難點是穩定性，這需要配合光刻膠的特性進行優化。”
“我們也取得了重要進展。”王立新說，“最新研發的光刻膠在幾個關鍵指標上都突破了感光度提升了30，線寬均勻性控製在2n以內，這些都是達到28n製程要求的基礎。”
領導陳啟明問道“兩個團隊怎麼配合？”
“我們采用雙組長製。”威廉姆斯解釋說，“每一個課題都由光刻機和光刻膠團隊的專家共同負責。比如在光學係統優化時，光刻膠團隊就了很多關鍵參數，幫助我們調整光路設計。”
“反過來也是。”王立新補充道，“光刻機團隊的光強分配數據，指導我們優化光刻膠配方。這種良好的創新模式效果很好。”
李一凡對這種合作方式很滿意。他清楚地記得以前世界上很多企業各自為戰，導致技術創新效率低下。現在有了省裡500億的支持，正好可以推動產業和諧。
“人才團隊組建得怎麼樣？”他問道。
“目前聯合實驗室有1101novel.com人。”威廉姆斯說，“其中博士32人，包括5位海歸專家。但在某些關鍵崗位還存在缺口，比如光學係統設計、材料界麵控製等領域的高端人才。”
市委組織部長何國慶立即表態“人才引進要特事特辦。對急需的專家，可以啟動‘一事一議’。待遇政策對比，關鍵是解決他們的後顧之憂。”
“已經在行動了。”市人社局局長楊國強說，“我們在矽穀、東京等地設立了招才引智工作站。目前正在和幾位頂尖專家接洽，其中包括三名日本光刻機領域的資深工程師。”
“人才建設也要跟上。”市住建局局長彙報，“專家公寓一期工程年底交付，可101novel.com0套高品質保障。國際學校持續加緊建設，明年秋季能如期開學。”
這個時候中微公司的技術團隊傳來了一個好消息光學係統的核心部件已經加工，性能測試達到預期。這意味著28n光刻機的工程樣機有望提前完成。
“具體什麼時候能出工程機？”李一凡問道。
“按照目前的進度，明年一季度末就能完成。”威廉姆斯說，“比原計劃提前了三個月。這主要得益於光刻膠團隊的配合，他們的測試數據幫助我們節省了大量調試時間。”
“工程機提前完成是個好消息，”王立新說，“我們的光刻膠輪轉速也加快了。目前對28n製程的光刻膠已經進行了第三次優化，核心指標非常穩定。”
“詳細講述優化的結果。”李一凡對這些技術細節很感興趣。
“最大的突破在三個方麵。”王立新打開實驗數據，“首先是感光性能，能量曝光降低了25，這對提升光刻機的工作效率很關鍵。其次是均衡性，偏差控製在18n以內，最後這直接影響良率。是儲存穩定性，在常溫下可以保存3個月不變質。”
“儲存性能很重要。”威廉姆斯點頭說道，“這意味著我們的產品可以批量供應給客戶，而不必擔心運輸和存儲問題。在日本企業的光刻膠中，能達到這個水平的也不少。”
市科技局局長劉青鬆問道“這些技術有自主知識產權嗎？”
“當然。”王立新說，“我們已經申請了12項核心專利，其中4項是和中微的聯合專利。這些專利完全覆蓋了28n製程中的關鍵技術點。”
李一凡對這種合作模式很滿意“這就是我們想要的和諧創新。不是簡單的下遊滿足，而是在核心技術上形成合力。省裡給我們500億投資，就是要支持這樣的創新模式。”
正說完成時，南大光電的中試車間傳來消息第一批批量產型光刻膠樣品製備，各項指標全部達標。這批樣品將用於中微光刻機的工程驗證。
“產能建設也要提速了。”王立新說，“我們產業園的一期工程明年3月就能完成。設計產能是月產5噸，完全能滿足前期的市場需求。”
“上遊材料供應有保障嗎？”市經信局局長張誌強詢問。
“這是我要彙報的。”王立新說，“我們已經和幾家本土的材料企業達成了合作。電子級偶聯劑、光敏劑、偶聯液等關鍵原材料全部自主供應。這對保證產業鏈安全很重要。”
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“產業布局要同步化。”李一凡說，“前安集科技、容大幾天感光都來了，voc向在星城布局。材料領域的龍頭企業紮堆，對我們很有利。”
“已經在談了。”市投資促進局局長高製鵬說，“目前已有15家企業簽約入駐意向，總投資超過80億元。我們在產業園專門規劃了材料產業區，重點引進這些項目。”
“人才團隊還要繼續補充。”威廉姆斯說，“特彆是隨著工程機的進步，我們需要更多工藝優化和係統集成的專家。這在全球範圍內都是稀缺資源。”
市人社局迅速回應“已經製定了新一輪人才引進計劃。對頂尖人才的年薪可以突破千萬，還有可能受到刺激。目前已經有日本光機專家準備簽約，他們在工藝優化方麵經驗特彆豐富。”
散會後，李一凡獨自在辦公室思考。作為重生者，他清楚地知道半導體產業的發展規律一步一個腳印，既踩創新的勇氣，又踩穩紮穩打的耐心。
“老公，”林允兒打來電話，“今天去聯合實驗室采訪，感覺他們的創新動力特彆好。要不要做個係列報道，重點介紹這種良好的創新模式？”
“可以，不過要把握好尺度。”李一凡說，“現在是關鍵階段，有些技術細節暫時不要對外公開。重點報道團隊協作和創新精神，讓更多人了解我們在技術自主創新方麵的決策。”
夜已深，但聯合實驗室的燈光依然明亮。兩個團隊的工程師們正在進行新的紅外線的工藝測試。李一凡望著這幅場景，心中充滿信心隻要堅持不懈的創新之路，國產28n重生歸來我誓登權力巔峰101novel.com更新速度全網最快。