早上七點,李一凡就來到了中微公司。今天是28n光刻機工程樣機關鍵核心部件的專家評審會,這不僅到了中微能否在年內完成整機合作,更關係到大夏半導體產業的突破。
剛走進大樓,助理陳曉峰就匆匆趕來“李書記,有份緊急密件。”
李一凡接過文件,是來自國家安全部門的情報美國商務部正在製定新的技術管製清單,針對中國半導體產業的打壓力程度將進一步加大。同時,他們在遊說台積電、三星等企業,要求停止采購大夏企業的半導體設備。
“看來暴風雨要來了。”李一凡眯起眼睛。他突然想到這一天,14海裡刻蝕機的突破必然會引起美國的強烈反應。
走進會議室、中微董事長尹誌繞和威廉姆斯博士已經在等候。專家評審組的成員也陸續到齊,包括兩位中科院院士、三位行業資深專家。
“尹總,先彙報一下目前的進展。”李一凡坐下後說道。
尹誌繞點開投影儀“首先是最令人振奮的消息,我們的光學係統創新設計獲得了重大突破。威廉姆斯博士,您來詳細介紹一下。”
威廉姆斯走到投影屏前“我們采用了全新的光路設計方案,配備了自主研發的控製算法,在分辨率和穩定性上都取得了突破。特彆是在與南大光電的新型光刻膠配合後,測試結果顯示分辨率提升了15以上。”
“這個數據非常驚人。”一位院士評價道,“如果能保持穩定性,完全可以滿足28n製程的要求。”
“穩定性方麵,我們進行了上萬次測試。”威廉姆斯調出測試數據,“耳環控製在3納米以內,完全達到了工業標準。”
李一凡注意到專家們交頭接耳,顯然對這個結果非常滿意。但他更關心的是另一個問題“量產時間線能確定了嗎?”
“按照目前的圖紙,明年6月份就可以完成整機完成和調試。”尹誌繞說,“不過還有兩個問題需要解決。”
“說說看。”
“首先是核心零部件的供應鏈問題。”尹誌繞指的是一張複雜的供應鏈圖,“目前除了光刻膠已經實現很多自主可控,其他關鍵部件還依賴進口。如果美國真的把我們列入實體清單,供應鏈可能會出現斷裂。”
“第二個問題是專利布局。”威廉姆斯補充道,“我們的創新設計已經申請了專利,但在某些領域可能會與asl的專利出現重疊。這需要法團隊仔細評估風險。”
正說著,市科技局局長劉青鬆快步走進來,在李一凡耳邊低語幾句。李一凡的表情瞬間凝重。
“剛消息,台積電那邊出現了新的變化。”李一凡環視會議室,“美國施壓停止他們采購我們的刻蝕機。”
會議室內一片寂靜。這在意料之中,但真正來臨時還是讓人感到巨大的壓力。台積電作為全球最大的晶圓代工廠,儘管是中微最重要的客戶之一。
“不止台積電。”劉青鬆繼續彙報,“三星這邊也收到了類似的壓力。美國正在通過各種渠道,要求韓國政府限製本國企業與中國半導體企業的合作。”
尹誌繞有些擔心“如果主要客戶都在的話,對我們的打擊很大。”
“這正說明我們的技術侵害了他們的核心利益。”李一凡沉聲說,“但也提醒我們,不能依賴任何外國企業。真正的出路掌握核心技術,建立自主可控的產業鏈。”
他轉向專家組“這次評審非常關鍵。我們需要考察評估28n光刻機的技術水平,找出所有可能的風險點。隻有讓技術過硬,才能在未來的競爭中站穩腳跟。”
專家評審持續了整整一個上午。除了已經取得的肯定成果外,專家們還指出了幾個需要重點攻關的方向光刻膠與光學係統的匹配優化、機械係統的精度控製、以及euv光源的穩定性等。
“這些問題都記錄下來了嗎?”李一凡問尹誌繞。
“都記錄下來了。”尹誌繞認真地點頭,“我們會根據專家的意見製定詳細的改進計劃。”
中午時分,評審會暫時休息。李一凡正準備去餐廳,手機突然響起。是德國默克亞太區總裁施耐德打來的。
“施耐德先生?”李一凡微微一笑。前幾天剛談妥默克在星城建設光刻膠研發中心的事,沒想到這麼快又有新的進展。
“李書記,我們董事會已經通過了投資方案。”施耐德的聲音透著興奮,“不過……我們希望能得到一些額外的支持。”
“什麼支持?”
“我們想擴大投資規模,除了光刻膠,還想布局其他半導體材料的研發和生產。但需要更多的土地和政策支持。”
李一凡眼前一亮。這或許是一個機會,可以借助默克的技術優勢,加快半導體材料的國產化進程。
“施耐德先生,您具體的投資計劃是什麼?”李一凡作為導師。重生者,他深知半導體材料是整個產業鏈的命脈。
“我們計劃投資101novel.com億歐元,”施耐德說,“除了光刻膠研發中心,還要建設特種電子氣體、光刻機鏡片塗層材料等生產基地。這些都是半導體製造的關鍵材料。”