中微公司的工程大樓內，正在進行關鍵的技術評審會。來自全國各地的半導體專家齊聚一堂，對28n光刻機工程樣機的核心部件進行評估。
“光學係統的測試數據令人矚目。”威廉姆斯博士指著屏幕屏幕說道，“分辨率穩定控製在28n，偏移精度達到±3n，這些指標都達到了設計要求。但在係統穩定性方麵還有提升空間。”
“具體是哪些問題？”李一凡問道。他特意來參加這次評審會，因為這關係到整個項目的推進。
“主要在兩個方麵。”威廉姆斯說，“一是光強均勻性還不夠理想，在大視場範圍內有微小波動；二是對環境溫度的敏感度偏高，需要更精密的控製係統。”
中微公司董事長尹誌繞插話道“這些問題在工程階段是可以的。我們已經和南大光電的團隊討論過，準備通過調整光刻膠的參數來補償這些偏差解決。”
“沒錯。”王立新說，“我們最新研發的光刻膠具有增強的工藝耐受度，可以在一定程度上彌補光學係統的不足。這就是良好創新的優勢。”
這時，一位來自中科院的專家提出疑問“光刻膠的工藝窗有多大？在量產環境下能否保持穩定？”
“這就是我們最近的突破點。”王立新調出一組實驗數據，“通過優化配方，將工藝窗口擴大了30。在標準環境下，曝光劑量和曝光時間都出現了更大的調節空間。這對提升良率很關鍵。”
李一凡注意到專家們對這一進展非常感興趣。他知道，工藝窗口的大小與量產的吸力有直接關係。
“係統集成方麵的進展如何？”中科院的專家繼續提問。
“已經完成了六個核心模塊的組合。”威廉姆斯說道，“現在最關鍵的是光學係統和機械係統的配合。為此我們專門開發了一套新的控製算法，可以實時補償機械振動帶來的影響。”
技術總監詹姆斯補充道“這套算法的創新點引入了人工智能技術。通過機器學習，係統能夠自動識彆和修改各種托盤刻源。這在全球的光機領域都是首創。”
“標準化確實是個好辦法。”專家組組長點頭說，“但要注意信息安全。係統的自主可控性必須有保證。”
“這方麵我們考慮周全。”威廉姆斯說，“所有的核心算法都是自主開發，關鍵模塊全部采用國產芯片。特彆是在安全防護方麵，我們采用了物理隔離的方案。”
就在評審會進行時，南大光電傳來好消息新一代光刻膠在中試生產中取得重要突破，各項指標均達到預期，良品率超過90。
“這個突破來得時候。”尹誌繞說，“意味著在材料和設備方麵我們都具備了產業化的基礎。”
“我建議成立一個聯合工作組。”專家組組長說，“由中微和南大光電的核心團隊組成，專門解決工程機階段的配合問題。這樣可以進一步發揮良好效果。”
“這個建議很好。”李一凡說，“省裡給了我們500億的支持，就是要推動這種深度合作。兩個團隊要真正實現技術共享、資源互補。”
“我們已經準備好了。”威廉姆斯說，“計劃從兩邊各抽調15名骨乾工程師，組成聯合攻關小組。重點解決三個問題光學係統的穩定性、工藝參數的匹配度、以及量環境產下的良率控製。”
“人員已經選好了。”王立新補充道，“我們選了幾位在日本工作的工程師，他們在工藝整合方麵經驗豐富。同時還補充了試線抽調了生產骨乾，確保實驗室成果能夠順利轉化。”
專家組的另一位成員提問“工程機的時間節點能否保證？”
“按照目前完成的細節，明年一季度末就可以出機。”威廉姆斯說，“關鍵部件都已經完全加工和測試，剩下的主要是係統集成和工藝優化。這些工作有南大光電配合，會提高效率。”
“工藝優化很關鍵。”專家組組長說，“建議多進行極限測試，特彆是在高溫、振動等極限條件下的表現。這些數據對後續量產很重要。”
“同意。”尹誌繞說，“我們已經建立了專門的測試實驗室，配備了最先進的分析設備。可以模擬各種工況下的運行狀態。”
就在今年，市科技局局長劉青鬆帶來了一個好消息“省裡決定追加101novel.com億專項資金，支持實驗室聯合建設。重點用於購置投資測試設備和引進高端人才。”
“人才引進要抓緊。”專家組組長表示，“現在全球的光刻機人才非常緊缺，要提前布局。特彆是係統集成方麵的專家，更是一時難求。”
李一凡立即表態“我們在人才政策上不設定上限。頂尖人才的待遇可以一事一議，關鍵是真正的高手請來。”
“已經有進展了。”市人社局局長楊國強說，“通過獵頭公司聯係到三位在日本工作的華人專家，他們在光機行業都有十五年以上的經驗。目前正在洽談具體條件。”
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“配套也要跟上。”市住建局第一報告，“專家公寓一期已經完工，可以隨時入住。國際學校正在加緊建設，明年秋季能按期開學。”
評審會的討論一直持續到深夜。專家組最後給出了明確的中微和南大光電的技術突破令人鼓舞，28n光刻機項目有望全麵按期完成。但要特彆注意三點一是工藝穩定性的驗證要更加充分，二是要加強安全性設計，三是要做好量產準備。
散會後，李一凡和幾位專家繼續交流。
“說實話，你們的進展超出了預期。”專家組長說，“特彆是在光學係統和光刻膠配合方麵的創新，開創了一條新路。這種良好的創新模式值得推廣。”
李一凡謙虛表示“這得益於省裡的大力支持，讓我們在關鍵技術上持續投入有底氣。不過現在還不是放鬆的時候，工程機隻是第一步，量產才是真正的挑戰。”
回到辦公室，李一凡給林允兒打了個電話。
“今天的評審情況。”他說，“但有些技術細節暫時不要對外公開，??特彆是智能控製算法方麵的創新。你在新華社的報道中要把握好分寸。”
“明白。”林允兒說，“重點報道團隊協作和創新精神，具體技術內容點到現狀。”
望著窗外忙碌的工地，李一凡心中充滿期待。28n光刻機的突破近在咫尺，這將使星城的半導體產業帶來質的飛躍。
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